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地址:
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氮化硅粉體燒結(jié)爐
產(chǎn)品介紹
高端氮化硅粉體燒結(jié)爐具有H2安全保護、防竄氣技術(shù) 、多段溫度曲線設(shè)定，多種氣體流量自動精準控制（無需人工調(diào)節(jié)）、脈沖式充氣、氣體循環(huán)控溫、發(fā)熱體衰減檢測、發(fā)熱體漏電監(jiān)測、全面故障自診斷等功能。主要用于高端氮化硅粉料的生產(chǎn)。
產(chǎn)品參數(shù)
裝料空間（W*H*L） 500*500*1800
最高溫度 1600℃
最高工作壓力 0.9bar
極限真空度 0.5pa
真空泄漏率 ≤5×10-3 mbarl/s
真空泵組 旋片泵+羅茨泵
升溫速率
(滿載、≥1500℃）		 ≥8℃/min
溫度均勻性 ≤±4℃
具備功能 真空燒結(jié)、靜態(tài)燒結(jié)、氣氛燒結(jié)、急速冷卻
工藝氣體種類 H2  N2  Ar


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